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全球首条零碳排半导体洁净车间投产

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台积电南京工厂近日建成全球碳中和12英寸晶圆洁净车间,通过国际ISO 14644-1:2025 Class 1认证,单位产值能耗较传统车间降低42%58

第二段

项目采用三重能源方案:屋顶光伏(年发电180万度)+地源热泵(能效比5.8)+氢燃料电池备用系统,实现绿电供应68

第三段

创新性使用石墨烯气凝胶墙体材料,导热系数低至0.018W/(m·K),配合AI驱动的风量动态调节系统,年省电费超2300万元56

第四段

实测数据显示,5nm制程良品率提升1.2个百分点,每片晶圆碳足迹减少3.2kg CO₂当量58

第五段

该模式已列入工信部《绿色半导体工厂建设指南》,预计2026年前将在行业推广50座同类车间614


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